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由羅茨泵和耐腐蝕液環真空泵按一定抽速比例關係組合而成，具有抽速大、真空高、消耗功率低的特點。與往複泵、滑閥泵相比，它更省油、低噪音、汙染小、在保持抽氣量不變的情況下，如果配合變頻控製櫃，它比往複泵和液環式真空泵節電60-80%。
